http://ru.wikipedia.org/wiki/Детандер. strateg, ну открой нэт, так нет заставил меня засомневаться. Эт сейчас азотом пользуются, а раньше с кислородки брали вымороженный сухой воздух и опрессовывали, продували систему без компрессора, перед вакуумированием.